二手 LEICA / VISTEC INS 3000 #9236858 待售

LEICA / VISTEC INS 3000
ID: 9236858
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
Wafer inspection system, 8" SMIF Interface 1999 vintage.
LEICA/VISTEC INS 3000是一種自動光學檢查(AOI)設備,設計用於掩模和晶圓檢查。該創新系統是為滿足晶圓加工和100納米以下光刻的苛刻要求而設計的。它是一個可靠且經濟高效的單元,能夠以統一的一致性處理高吞吐量。該機能夠檢測和識別具有3D重建功能的缺陷,將敏感檢測與缺陷分析特征相結合。其電動Z軸允許進行各個階段的檢查,如變焦、平移、聚焦和自動校準。它還在脈沖級別提供清晰的缺陷圖像。LEICA INS 3000利用先進和先進的光學器件,在晶圓的Z軸上有三個攝像頭,使其適合任何檢查工作。該工具采用集成的圖像成型和圖樣匹配引擎,以高速掃描、準確、可重復的結果和易於操作的方式,最大限度地提高了檢測效率。該資產具有毛細管視覺模型和集成的掩模對準程序,便於缺陷位置捕獲和校正。動態成像模式有助於分析缺陷,以及執行3D圖像處理以識別、分類和大小缺陷特征的能力。該設備還具有晶圓對準系統,具有用於晶圓識別、校準和失真校正的集成程序。自定義軟件工具可實現與用戶定義標簽的模式匹配,動態缺陷捕獲功能可幫助從不同設計層捕獲的數據中重建晶圓的圖像。總體而言,VISTEC INS 3000是一個直觀而有力的屏蔽和晶圓檢測單元,能夠以高效的方式滿足任何生產要求。這臺多面檢測機的集成軟件包、先進的成像選項和先進的光學特性,提供了卓越的效果。該工具利用具有缺陷分析功能的自動化和敏感檢查來提供統一和經濟的結果。
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