二手 LEICA / VISTEC LDS 3000 #293628458 待售

LEICA/VISTEC LDS 3000是為生產高質量半導體器件而設計的自動化激光基掩模和晶圓檢測設備。該系統采用了專有的光學技術和先進的成像系統，實現了光掩模和晶片的無缺陷檢測和修復。它具有三個不同的光路，每個光路設計為執行不同的任務。第一個路徑用於檢查低放大倍率的掩模和晶片，能夠檢測小至一微米的缺陷。第二條路徑針對高放大倍率缺陷進行了優化檢測，能夠解決低至0.2微米的缺陷。第三條路徑經過優化，在極高的放大倍率下增強了缺陷的分辨率，能夠檢測到小至0.1微米的缺陷。LEICA LDS 3000能夠識別兩種類型的缺陷：掩模上的結核和晶圓上的顆粒。它可以檢測由於背面對準、光掩模不對準、粒子汙染以及錯過元件和反射率突然變化等光學缺陷而產生的缺陷。它還可以檢測由薄/粗元素、缺少元素、快門錯誤和未對齊引起的缺陷。該單元還包括光譜成像、偏振成像和差分成像等光學檢測技術，以最大限度地提高缺陷檢測能力。VISTEC LDS 3000是一款全自動機器，具有可互換的光圈工具和直觀的用戶界面。它可以在自動化和手動檢查模式中使用。自動檢查模式對於生產是最佳的,而手動模式最適合識別細小的詳細缺陷子集。LDS 3000具有存儲掩碼數據的能力,允許將來對數據進行分析,並有助於縮短總體生產時間。此外,該資產還具有用於掩模和晶片的對齊模型。這樣可以在操作過程中快速設置時間和嚴格跟蹤掩碼和晶片。LEICA/VISTEC LDS 3000旨在最大限度地降低總體生產成本、縮短上市時間、最大限度地提高質量控制。其高速處理時間和先進的成像能力使其成為目前市場上最先進的檢測系統之一。這種設備非常適合生產空間有限的高性能設備，因為它能夠有效和可靠地檢測光掩模和晶片的低級缺陷。