二手 LEICA / VISTEC LDS 3000M #9267069 待售

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ID: 9267069
Inspection system Mainframe.
LEICA/VISTEC LDS 3000M是一種用於檢測和識別復雜幾何結構缺陷的掩模和晶圓檢測設備。該系統采用超高分辨率5.3百萬像素(MP)彩色線條掃描攝像頭,具有大視野,每秒多幀。圖像可以在17英寸的顯示器上以彩色顯示,從而可以輕松評估和比較多個樣本。LEICA LDS 3000M利用高端光學器件和先進的成像裝置來產生始終如一的高質量和穩定的圖像。在VISTEC LDS 3000M中集成了一臺精密舞臺運動機,以實現高速掃描和高精度掩模對準。該工具的高級光學資產可以檢測到40 nm以下的功能。LDS 3000M還可以檢測到20dB的光強度變化。LEICA/VISTEC LDS 3000M能夠檢測非常小的缺陷,例如針孔和結節,即使在大面積的設備中也是如此。此外,模型還具有增強的檢查功能,可以快速檢測特定的故障站點,如未對齊、間距和線寬。LEICA LDS 3000M還提供了高級缺陷分類功能,可幫助以高度精確的方式識別單個掩碼中的模式。VISTEC LDS 3000M能夠在眨眼之間呈現復雜的圖像,從而能夠更快、更準確地進行評估。設備提供自動缺陷分類,大大縮短了檢查時間。LDS 3000M還提供了進一步細化缺陷提取以提高精度的能力。LEICA/VISTEC LDS 3000M配備了一系列編輯和分析功能,為檢查和分析掩碼提供了強大的環境。LEICA LDS 3000M生成的圖像可以以圖像格式保存或以各種文件格式導出,從而可以進行進一步分析。總體而言,VISTEC LDS 3000M是一種先進且高度自動化的高分辨率掩模和晶圓檢測系統,能夠快速準確地檢測缺陷。它的高級成像單元設計用於生成掩模和晶片缺陷的超高分辨率和穩定圖像,而其自動缺陷分類可確保高效和準確的結果。
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