二手 LEICA / VISTEC LDS 3300C #9249375 待售

LEICA / VISTEC LDS 3300C
ID: 9249375
優質的: 2006
Automated defect inspection system 2006 vintage.
LEICA/VISTEC LDS 3300C是LEICA開發的一種高端掩模和晶圓檢測設備。它旨在檢測和定位蒙版或晶片上的圖樣,並提供有關諸如間距、叠加和缺陷大小等特征的信息。LEICA LDS 3300C是一個全面的系統,能夠檢測各種缺陷,包括顆粒缺陷、蝕刻故障、配準錯誤和表面變化。VISTEC LDS3300C包括三個組件:控制單元、視覺單元和晶圓處理程序。控制單元包含中央處理、控制和分析軟件應用程序。視覺單元包含用於成像的雙目標透鏡,以及向要處理的控制單元發送檢查信號的硬件組件。晶圓處理程序負責安裝晶圓並將其移動到適當位置進行檢查。LDS3300C還具有兩種晶圓檢查類型,單向檢查(UDI)和循環掃描(CS)。UDI用於檢查晶片表面的全場掩蔽和配準。CS用於高速晶片檢測,掃描晶片沿晶片周長的部分。對於UDI和CS, LDS 3300C檢測到的缺陷遠小於螺距大小。它還可以區分孔徑邊緣的錯誤定位和孤立缺陷等難以檢測的缺陷。VISTEC LDS 3300C利用VISTEC快速可靠的算法進行圖像處理和評估,為用戶提供高速性能。該單元還能夠進行多站點晶圓掃描,並且可以很容易地與其他或定制的軟件應用程序集成。總體而言,LEICA/VISTEC LDS3300C是一款先進的掩碼和晶圓檢測機,具有無與倫比的精度、可靠性和速度。LEICA LDS3300C的用戶可以通過其強大但用戶友好的界面確保其掩模和晶片中的高質量表面結構。
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