二手 LEICA / VISTEC MIS 200 #293671051 待售

ID: 293671051
Inspection system.
LEICA/VISTEC MIS 200是半導體工業中使用的一種精密的掩模和晶圓檢測設備。它對暴露的薄膜蒙版和晶片基板都提供高分辨率成像,使其能夠快速檢測到蒙版和晶片上的最小誤差。該系統由於結合了光學、電子和軟件而高度可靠,確保了所有缺陷的識別和精確映射。該單元包括一個可處理多種掩碼和晶圓格式的步進重復模塊。此模塊允許使用可編程級進行精確對齊,從而為每個對齊提供精確的可重復性。它還有一個高分辨率的光學機器,同時具有明場和暗場圖像處理,以進一步確保高精度。光學工具包括多鏡頭設計和圖像投影資產,其中包括X和Y坐標的數字線性編碼器以及單軸Z軸控制。LEICA MIS 200還包括一個全面的軟件環境。該軟件提供了準確評估晶圓和掩碼的工具。它可以檢測和分析平面圖像和3D圖像中的打開和關閉缺陷,以及確定受任何缺陷影響的區域。軟件還提供了一個完整的缺陷記錄模型,並且可以以多種格式顯示這些結果,包括橫截面圖像、輪廓圖和散點圖。該設備設計方便操作和維護。它配備了車載診斷程序,可快速有效地診斷和排除問題。用戶還可以訪問教程和幫助文檔,以獲得根據用戶規範配置系統所需的任何幫助。此外,它還具有自動校準和優化功能,可以根據需要不斷優化設備。總體而言,VISTEC MIS 200提供了一個獨特的和強大的機器面膜和晶圓檢查。憑借其先進的光學、軟件和維護功能,此工具旨在在這個關鍵行業中提供無與倫比的性能和可靠性。
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