二手 LEICA / VISTEC MIS 200 #293671055 待售

LEICA/VISTEC MIS 200是一種創新的掩模和晶圓檢測設備，設計用於檢查生產過程中光刻圖樣的完整性。它具有獨特的成像光學設計，結合特殊的處理算法，可以快速準確地形成和分析高分辨率的納米級特征圖像。在LEICA MIS 200中使用的成像光學器件是基於高光圈（N.A.）冷凝器，結合了場選擇性物鏡和冷卻數碼相機。該系統能夠快速獲取具有廣泛視野的納米級圖樣的高分辨率圖像。得到的圖像非常精確，細節可見不到1納米。此外,該單元能夠獲取可用於準確測量圖樣質量和執行缺陷識別的幹涉圖樣。VISTEC MIS 200采用的功能強大的軟件算法可以從獲取的圖像中提取對缺陷分析極為有用的信息。例如，機器能夠檢測任何圖案的幾何特性甚至非常小的偏差，以及識別晶圓上的關鍵缺陷。此外，該軟件能夠自動測量一組設備的接觸電阻，從而對關鍵設備參數進行快速可靠的評估。MIS 200工具還配備了許多用於數據管理的功能。這些功能包括允許全面跟蹤所有獲取的圖像的可追蹤性資產,以及用於存儲所有獲取的圖像和結果以供將來參考的數據存儲功能。因此，LEICA/VISTEC MIS 200是檢查光刻工藝中納米級特征的行業標準工具。它能夠獲取非常高分辨率的圖像,從而能夠對設備的質量進行徹底的缺陷分析和詳細的評估。此外,該模型還具有高級數據管理和可追蹤性功能,允許用戶存儲和訪問所有獲取的圖像和結果。