二手 LEICA / VISTEC MIS 200 #9250501 待售
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ID: 9250501
晶圓大小: 8"
Inspection system, 8"
Handler and motor stage
No scope
No Hard Disk Drive (HDD).
LEICA/VISTEC MIS 200是一種蒙版和晶片檢查設備，能夠以高度的精度、速度和一致性檢查和表征蒙版和晶片。它比傳統的檢測方法準確得多，可以更快地檢測缺陷。LEICA MIS 200利用共聚焦光學系統最大限度地提高其精度和精確度。共焦光學器件由具有可調狹縫的物鏡和具有固定光圈的集合透鏡組成。光學器件允許聚焦光束穿過掩模或晶片，然後使用檢流計掃描儀和安裝在2軸檢流計上的鏡子單元進行掃描。這樣就可以將光束聚焦並精確地對準掩模或晶片的各種特征。VISTEC MIS 200的主要優點是能夠準確定位微量和納米尺度範圍內的缺陷，精度小於2nm。此外,它還可以高度精確地識別和測量局部幾何形狀和特征,如拐角、邊和角度。此外，還可用於測量CD （CD）、線寬和其他精度較高的參數。再者，MIS 200配備了高速成像算法和高度靈敏的光電探測器，可實現最大檢測效率。機器可以檢測非反射表面拓撲，如虛空和虛空間隙，並可以識別弱反射區域中的粒子。SUMMARYLEICA/VISTEC MIS 200是一種掩模和晶片檢查工具,能夠以高度的精度、速度和一致性檢查和表征掩模和晶片。它利用共焦光學資產最大限度地提高精度和準確度，並以高度精度檢測各種特征，如角、邊、角。此外，它可以偵測到非反射表面拓撲，例如Void和Void Gaps，並且可以識別弱反射區域中的粒子。它也能夠高精度地測量CD （CD）、線寬和其他參數。
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