二手 LEITZ Ergolux #104835 待售

LEITZ Ergolux
ID: 104835
Inspection microscope 6x6" Travel Motorized nose piece.
LEITZ Ergolux掩模和晶片檢測設備是一種獨一無二的全自動系統,旨在自動檢查光掩模和晶片。該單元支持廣泛的半導體制造工藝,可用於檢測多層和多步元件。該機包括一個能夠獲取微米精度讀數的高精度三維輪廓測量級和一個用於棱鏡對準的高分辨率顯微鏡。Ergolux工具支持兩種不同的掩碼和晶圓檢查模式。第一種模式----自動掩碼檢查----包括使用一系列圖像處理和模式識別技術對光掩碼進行一系列檢查。這包括檢查層間對齊的準確性、評估圖案的均勻性以及檢查蒙版圖案的形狀和大小。第二種模式--自動晶片檢測--使用與掩模檢測模式相同的一組圖像處理和模式識別技術,但也包括晶片層的高級深度測量。高精度、三維輪廓測量階段能夠獲取微米精度讀數,快速獲取高分辨率圖像和精確的3D輪廓。此外,LEITZ Ergolux資產還配備了強大的圖像處理算法,從而能夠快速可靠地檢查幾乎任何形狀或大小的高復雜性模式。該模型包括三個主要組件:直觀且易於使用的圖形用戶界面(GUI)、強大的檢查引擎和用於在需要時進行手動幹預的高分辨率顯微鏡。檢查引擎利用預測算法和人工智能(AI)來分析掃描儀捕獲的圖像的錯誤、缺陷或其他有問題的模式。借助顯微鏡,人工檢查和調整也可以快速輕松地完成。Ergolux設備是尋求自動化、高精度掩模和晶圓檢測系統的半導體制造商的理想解決方案。該裝置可用於加快生產時間,減少周期時間,確保可靠、高質量的效果。此外,這臺機器是高度可配置的,可以根據每個制造商的具體流程和要求進行定制。
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