二手 LEITZ Ergolux #131146 待售

LEITZ Ergolux是掩模和晶圓檢測系統的領導者。該設備設計用於對掩模和晶片進行精確、高通量的檢查,檢查其缺陷,包括顆粒、劃痕、粗糙和小特征。該系統具有先進的掃描算法,可提高檢查精度和速度,以及用於精細結構成像的高分辨率成像,如接觸孔、開口和通風孔。該單元使用單個光敏成像頭來降低復雜性並確保最佳性能。成像頭配有分段線性光電二極管傳感器陣列，可調光學視場高達100mm以上。這使機器能夠同時掃描高分辨率圖像並快速搜索大面積區域。該工具配備了10軸運動控制資產,可增強模型的超精細運動能力。運動控制設備與掃描激光系統集成在一起，以捕捉高質量的圖像，並快速準確地提取關鍵信息。該單元還配備了智能缺陷檢測（IDD）機，利用先進的模式匹配算法，準確識別特征和潛在缺陷。該工具還具有高級故障分析功能,允許用戶快速調查可疑缺陷。Ergolux也是開放平臺資產。它使用LEITZ工具包進行編程,使用戶能夠靈活地開發和定制適合其特定流程需求的檢查協議。集成軟件還具有強大的圖形用戶界面，可用於配置模型、創建和管理作業、開發缺陷檢測策略以及查看詳細檢查結果。LEITZ Ergolux提供卓越的吞吐量,每小時高達120個晶圓,高缺陷檢測率高達97%。該設備提供可靠、準確的性能,是任何檢查應用的絕佳選擇。