二手 LEITZ Ergolux #193173 待售

用於半導體成像的LEITZ Ergolux掩模和晶片檢測設備是一個獨特的系統，為矽片和掩模的檢測提供業界領先的準確性和效率。該單元利用獨特的機器人成像平臺，集成了先進的視覺和計量能力。Ergolux機器的設計旨在提供一個有效的、無損的成像環境,從而減少晶圓和掩模損壞的可能性以及傳統檢查方法所花費的時間和資源。LEITZ Ergolux設計為操作友好,包括用於快速設置參數和配置的直觀用戶界面。自動化工具控制（ASC）軟件提供了編程工具,可方便地設置自動測量周期,並具有用戶友好的圖形編程元素。利用集成的視覺和計量系統,操作員可以快速定義和調整測量模式,並且結合廣泛的測量結果提取能力,可以放心地對晶圓和掩模進行全面的無損故障分析。Ergolux包含高級立體視覺功能，如多軸掃描、縮放、平移、傾斜、掃描甲板旋轉、掃描區域投影和圖像對齊校正。多軸圖像掃描消除了傳統手動或掃描儀檢查中常見的運動偽影,並允許在不同的晶圓和掩模幾何形狀上進行更嚴格、準確的測量。縮放和平移功能允許捕獲和檢查較大的圖像,從而在缺陷分析中提供更詳細的信息。LEITZ Ergolux平臺上的光學顯微鏡提供了對圖像中已經識別出的任何潛在缺陷或異常的深入分析。顯微鏡還具有可更換的物鏡，進一步協助操作員識別大規模集成電路中的抵抗圖像失真、斷線或短路等復雜缺陷。此外，顯微鏡可用於檢查晶片或掩模的正面和背面，以便進一步進行故障分析。此外,Ergolux還包括一個自動無損晶片應力分析儀,該分析儀用於在檢查過程中測量任何晶片或掩模的應變水平。NDSSA是一種非接觸式資產,它使用HPS™高精度傳感器來映射晶圓或掩模表面的應力。此應力分析測量可用於檢測晶片或掩模中的小變化,並提供晶片或掩模的全面概述以確保無缺陷制造。LEITZ Ergolux是一種創新的成像模型，非常適合半導體成像應用。先進的成像功能、自動晶片應力分析和直觀的用戶界面可提供高效、準確的檢查結果,滿足最苛刻的工藝要求。Ergolux設備專為苛刻的生產環境而設計，將為半導體檢測過程提供可靠的結果。