二手 LEITZ MPV-CD2 #293749265 待售
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LEITZ MPV-CD2是一種基於顯微鏡的掩模和晶片檢查設備,用於1X和5X步進器和掃描儀。該系統由三個光學元件組成:幹涉顯微鏡、圖像檢測器和微米頭。幹涉顯微鏡用於在檢查過程中捕獲掩模和晶片的圖像。它有一個數值光圈為0.34的物鏡和一個1/2 ″傳感器。它也有數位焦點鎖,允許不論掩模或晶圓運動的連續焦點。圖像檢測器是具有2,048 x 2,048像素和12位數字化的帶電耦合設備(CCD)。它能夠從3 µm的視場中產生完整的25 µm圖像。它還具有高達10,000倍的可變增益以最大化圖像細節。微米頭在檢查過程中用於精確定位。它安裝在四軸旋轉臺上,精度為25 µm,確保每次檢查100%精度。MPV-CD2還配備了多種用戶友好功能。它包括允許與第三方應用直接通信的接口;一個過程監測單位,記錄每次檢查的結果;以及一個幹涉紅光保護機器,以確保最大的圖像質量。LEITZ MPV-CD2既易用又高精度,是掩模和晶圓檢測的理想解決方案。從小到大的圖像缺陷,MPV-CD2的特點為用戶提供了每一次檢查都準確可靠的信心。
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