二手 MATSUSHITA M515-III #9361954 待售
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MATSUSHITA M515-III是為基板的高速和高精度計量而設計的掩模和晶圓檢測設備。它為半導體器件探頭和其他半導體相關器件提供了全面的測量解決方案。M515-III配備了先進的光學成像系統,具有高分辨率成像和自動測量功能。該單元將目標聚焦機與電動級和示波器集成在一起,精確測量各種計量參數。它還包括一個遙控單元,用於自動測量掩模圖樣和晶圓布局掃描。MATSUSHITA M515-III的成像能力包括高分辨率、遠場/近場成像、多種對比度和亮度控制算法、顏色檢測、自動缺陷檢測以及VCR/膠片模擬以進行追溯。該工具還可以高速和精確地測量晶片和掩模的計量數據。M515-III的嵌入式機器人技術可實現精確的單/重復測量和自動晶圓映射。它支持單通道和雙通道系統,支持自動模式放置和晶圓圖像,並增強了假特征檢測功能。MATSUSHITA M515-III帶有智能特征分析,可生成確定性輸出測量值以及統計數據。它還可以進行光學過程控制、光學晶片監控、叠加配準和模具識別。再者,它具有較大的存儲器容量、低噪聲放大器技術和先進的分辨率光學器件,光學景深可達9.5 µm。M515-III是市場上最先進、最先進的面膜和晶圓檢驗系統之一。它為用戶提供了極致的控制、精度和測量性能。先進的機器人技術、智能特征分析、高分辨率成像和擴展的內存容量等功能使MATSUSHITA M515-III一種理想的解決方案,可滿足高容量任務以及對精度和準確性的需求。
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