二手 MCVAC MCM-160 #9266954 待售

MCVAC MCM-160 Mask and Wafer Inspection設備是一種先進的成像和檢查設備,為半導體晶圓制造中使用的晶圓和Mask提供高分辨率成像。MCM-160是一個多合一系統,包括晶圓掃描功能和掩碼檢查功能。MCVAC MCM-160利用新的透鏡陣列技術獲取晶圓或掩模上每個圖樣的微觀圖像。該裝置可以檢查晶圓基板和直徑不超過200毫米的口罩上的缺陷和與基板相關的特征。MCM-160具有用於成像晶片的500萬像素CCD傳感器。CCD傳感器的視場為2.5 × 38 × 2.5毫米，並且可以在單個晶片的活動區域內掃描9mm寬的視場，分辨率高達5µm。CCD傳感器可配置為在不同方向和方向進行掃描,以捕獲晶圓上的垂直和橫向特征。這樣就能夠精確地成像晶圓上的細微細節，使MCVAC MCM-160一個特別適合檢測針孔、小氧化物特征、小接觸/通過異常、小顆粒和細線分解到5 µm的檢測機器。MCM-160還具有口罩檢查功能,可用於檢查直徑不超過200毫米的口罩。該工具配有一個4百萬像素濾鏡陣列CCD和一個可調聚焦透鏡，可協同工作以獲取面罩上每個圖案的微觀圖像。該資產能夠檢測到低於6 µm分辨率的斷線、短褲和汙染等缺陷。模型還具有特征檢測功能,可用於檢測可能影響掩碼質量的線端或陣列位置差異。除了高分辨率圖像采集外，MCVAC MCM-160還可以執行晶圓對準和臨界尺寸測量。設備配備了自動對準功能，能夠精確定位晶片，並將系統對準晶片的成像方向。這樣可以確保設備正確捕獲晶片上的特征。MCM-160還具有臨界尺寸分析特征，可以準確測量特征邊緣和直徑尺寸。總體而言，MCVAC MCM-160掩模和晶片檢測機是一種先進的成像和檢查設備，提供高分辨率的晶片和掩模成像。該工具具有晶片掃描和掩碼檢查功能,能夠精確檢測晶片或掩碼上的缺陷和基板相關特征。它還能夠執行晶圓對準和臨界尺寸測量。