二手 MIT Linearflex 822 #9234972 待售
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MIT Linearflex 822是一種掩模和晶圓檢測設備,設計用於提供集成電路(IC)的自動化、無損評估。該系統由光學和掃描電子顯微鏡(SEM)組合而成,以及自動化檢查過程的高級軟件工具。光學單元包括一個底部照明物鏡,提供晶圓表面的清晰、實時的圖像捕捉。利用掃描電子顯微鏡(SEM),可以在非常高的細節水平上對亞微米特征進行成像。高分辨率圖像可以作為相控陣成像在多個通道中捕獲,從而可以檢查IC的表面和地下特征。Linearflex 822還包括強大的圖像分析功能,能夠在IC設計和制造過程的各個階段自動檢查晶圓。先進的圖像處理算法能夠識別宏觀和微觀層面的缺陷,包括粒子和粒子簇、結核、凹坑、劃痕和其他汙染。此外,該機還包括一套晶圓檢測工具,用於全面檢測各種平版印刷誤差。該套件與一系列行業標準的光刻工藝兼容,包括步進掃描(i-line stepper或DUV scanner)、雙圖案和光掩模處理。該軟件還能夠檢測異物和晶圓剝落或翹曲。結合圖像捕捉系統,自動檢查軟件對IC布局和流程進行全面篩選和測量。它可以用來檢測過程故障,定位汙染源,幫助優化過程性能。集成工具軟件旨在最大程度地減少停機時間並優化性能。該軟件具有很高的可擴展性,可以進行編程以啟用晶圓測試和修復過程。它能夠使用來自硬件的高速數據流處理大型數據集。MIT Linearflex 822是一種先進的掩模和晶圓檢測資產,旨在簡化IC生產並提高吞吐量。它將高分辨率成像與先進的軟件工具結合在一起,在宏觀和微觀層面上提供可靠、自動化的IC檢查。憑借強大的設計和全面的工具,該模型非常適合IC設計和制造應用。
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