二手 MKS GLM-2000 #9073496 待售

MKS GLM-2000
ID: 9073496
Minority Carrier Lifetime Monitor Measurements: Gtau (lifetime) Photoconductance Rise (PCR) Photoconductance Decay (PCD) Sheet Resistance Gtau Lifetime Measurement Range: 0.2-15,000 microsecond (µsec) equivalence PCR and PCD Measurement Range: 5-15,000 µsec Sheet Resistance Range: 1 5-1000 Ohm o Within Specification Temperature: 18º - 28°C ambient Substrate Size: 2”, 3”, 4”, 6” diameter, 156 x 156 mm LED Light Source2: Near Infrared (940 nm) or Green (527 nm) Sensor Measurement Area: 940mm2, spatially averaged illumination Substrate Thickness: <1.1 mm (<2.0 mm with tray removed) Power: 110-240 VAC, 50/60 Hz.
MKS GLM-2000是一種用於檢測制造缺陷的強大的掩模和晶圓檢測設備。檢查系統提供光掩碼、平板顯示器和MEMS設備的自動缺陷檢查。檢驗單位配備了高分辨率的光學機器,先進的照明技術,以及獨特的觀察工具,使其能夠檢測到甚至最微妙的表面不規則性。GLM-2000旨在支持廣泛的檢查應用,包括介電測量、臨界尺寸檢查、全局對齊以及設計規則/掩碼規則驗證。MKS GLM-2000配備了先進的視圖技術,使資產能夠快速訪問模式中的模糊特征或檢測具有高對比度或分辨率的缺陷。GLM-2000中使用的掃描級能夠進行高速移動和高精度定位,從而能夠進行準確可靠的缺陷檢查。該模型提供了多種不同的檢測技術,如多焦點、3D-dipole和多角度光反射。該設備還具有強大的圖像處理算法,用於先進的邊緣檢測、特征測量和圖像比較。MKS GLM-2000能夠在一個周期內檢查多達10個掩模和晶片。該系統具有高度的可配置性,可以根據各種制造工藝的需要進行定制。GLM-2000的設計符合批量生產、需要大批量檢驗的制造商的要求。該裝置故障率低,確保機器始終可靠準確。MKS GLM-2000是一種方便用戶和高效的檢查工具。直觀的用戶界面和圖形化的用戶界面使操作變得容易。檢驗資產符合多種行業標準,包括CD-SEMI、J-STD和IEC-60950。該模型旨在在制造、成像和計量等多個行業中提供高效可靠的缺陷檢測。GLM-2000是一個經濟高效的檢測設備,提供無與倫比的準確性和吞吐量。
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