二手 NANOMETRICS 200 #9226184 待售

ID: 9226184
晶圓大小: 6"
System, 6".
NANOMETRICS 200是一款最先進的掩模和晶圓檢測設備,可提供高精度3D計量和缺陷分辨率功能。它用於檢測半導體器件和材料的表面和地下缺陷。200將先進的納米級成像技術與綜合圖像處理算法相結合。該系統為掩模和晶片檢查提供了多種測量模式,甚至可以配置為測量掩模或晶片邊緣的形狀。該單元由包含高分辨率鏡頭陣列的硬件單元、掃描頭、圖像捕獲設備和控制舞臺位置和運動的電動舞臺機組成。硬件單元連接到提供用戶界面、圖像處理算法和其他功能的計算機。軟件套件包括多種用於檢查掩碼和晶片的工具,如缺陷跟蹤、統計過程控制、高級表面重建和過程優化。NANOMETRICS 200利用各種成像技術進行各種應用。這些成像技術包括標線聚焦成像(RFI)、高分辨率成像(HRI)、圖樣光成像(PLI)、區域陣列成像(AAI)和電子束成像(EBI)。這些技術有助於確保準確可靠地檢測到所有表面和地下缺陷。除了其精密的掩模和晶圓檢測能力外,還可以使用200來測量形狀特征,解決尺寸相關的工藝問題,甚至檢測最小的工藝誘導缺陷。該工具還配備了自動缺陷分類和分類功能,更容易查明和區分不同的缺陷類型。NANOMETRICS 200能夠掃描和測量大面積,使其能夠輕松處理多個掩模和晶圓檢查任務。其先進的分析算法甚至可以檢測到最微小的缺陷,確保客戶得到準確的結果。其可靠的操作,加上直觀的用戶界面,使其成為掩碼和晶圓檢測任務的絕佳選擇。
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