二手 NANOMETRICS 210 #9123978 待售

ID: 9123978
晶圓大小: 1-6"
Thin film thickness measurement systems, 3"-6" Includes: Photoresists Polyimides Polysilicon Oxides Nitrides Ranges: 100A to 500kA Measurement time: 2.5 seconds.
NANOMETRICS 210是一種用於半導體制造和檢驗的掩模和晶圓檢驗設備。該系統采用最先進的光譜成像掃描算法,提供快速準確的檢測結果。該單元提供了高分辨率模式和高動態範圍模式兩種獨立的檢測模式,使用戶可以以細節和清晰的方式對廣泛的基板進行檢測。210機包括由先進光學元件組成的先進光學工具,如物鏡、光盾和光源。這一光學資產具有0.5µm的出色分辨率,確保了準確可靠的結果。此外,該模型的光學設備利用狹縫掃描和場掃描進行高速、深入的數據收集。此外,NANOMETRICS 210系統集成了創新的單色雙極鏈成像算法。該算法使設備能夠檢測各種基板的圖樣和尺寸的缺陷,包括透明、金屬和灰度。光機與成像算法的結合,保證了準確快速的圖像處理。此組合使該工具能夠生成範圍超過10 µm且動態範圍出色的高分辨率圖像。此外,該資產還配備了模塊化軟件套件,能夠進行分析和缺陷檢查。其軟件包括用於掩碼檢查和缺陷分類、缺陷級別測量和審查的工具,以及在保持低誤報率的同時選擇、定位和測量缺陷的能力。210已經設計滿足了半導體生產的要求。該模型提供了快速吞吐量、高分辨率、準確性、低誤報率以及在其軟件中實現的多種分析技術。這些組件,加上它可以檢查的各種基板和缺陷類型,使得半導體生產能夠快速、準確、高產量。
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