二手 NANOMETRICS 7000-033895 #9242378 待售
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NANOMETRICS 7000-033895「掩模和晶圓檢測」設備是一種用於集成電路生產的高性能光學檢測工具。它旨在為標線、掩模和晶片提供快速、準確的基於圖像的接觸層特征分析。該系統包括主機、舞臺和光學單元。大型機是一個多功能的主力平臺,可容納舞臺、光電、精確運動控制系統和用戶界面。大型機的設計目的是通過廣泛的圖像捕獲和分析功能提供可靠、高效的使用。該級是一個精密的空氣承載平臺，能夠使用編碼器技術和線性光學編碼器的組合精確、平滑地定位在x和y軸上。它也是用精密電機驅動的機器建造的，允許精確定位Mask&Wafer基板。光學工具的設計目的是在基板上提供高分辨率的接觸層成像（高達2200萬像素）。整個資產被安置在一個非反射的黑色環境中，允許更高的精度和最小的光學反射。光學器件還包含了幾種用於蒙版和晶片照明的大功率激光器和超級透鏡。這些組件的精確定位大大提高了車型的性能。板載軟件允許以高度精確度自動檢測接觸層特征。此外,該軟件還支持面向對象的測量和計算機輔助設計軟件（CAD）,使用戶能夠通過單個圖像在單個基板上分析和放置大量接觸特征。有了這樣的精確度計算，設計模擬和評估就可以實現。最後,該設備符合大多數行業標準,能夠將接觸特性驗證為20 nm,小於可見光的波長。這對於先進集成電路的生產是非常有利的。該系統使用可用的最佳組件和軟件功能,以高精度提供可靠一致的結果,使其成為任何接觸層檢查工作的理想工具。
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