二手 NANOMETRICS 8000X #9294202 待售
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NANOMETRICS 8000X Mask and Wafer Inspection Equipment是一種高性能、自動化的計量解決方案,旨在在制造過程中監控Mask和Wafer質量。它可以精確測量精度高達20 nm的關鍵特征。NANOMETRICS 8000 X系統采用模塊化設計,支持標準配置和自定義配置。8000X的核心是大幅面光學級,它與電動X、Y和theta級集成在一起,可實現動態對準,用於多步測量或跟蹤多個模具泄漏。舞臺還設有內置屏蔽,以減少背景噪音和雙盒式裝載機,以提高生產力。8000 X單元使用EXE™軟件進行控制,該軟件為配置、控制和數據分析提供了功能強大、用戶友好的界面。EXE軟件包具有自動化掃描策略、多個計量通道、高速數據傳輸等多種高級功能。機器能夠對關鍵特征進行多次測量,如標線、通孔、觸點、關鍵曲面和徽標。它提供高密度測量,並可以檢測和分類小特征大小的缺陷,包括線條、空間和通過特征。NANOMETRICS 8000X工具也被設計為支持自動化。它可以連接到電子顯微鏡、測試儀和掃描儀/探針系統,以獲得更自動化的計量解決方案。NANOMETRICS 8000 X掩模和晶圓檢驗資產是半導體制造質量控制和過程監控的理想解決方案。它的高級功能、精確的測量和自動化功能使其成為監控掩模和晶圓質量的最有效解決方案之一。
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