二手 NANOMETRICS 8000XSE #9228097 待售

ID: 9228097
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Thin film measurement system, 6" Type: P1 Without ellipsometer 1996 vintage.
NANOMETRICS 8000XSE是一種最先進的掩模和晶圓檢測設備,旨在檢測和識別大量的陣列和晶圓缺陷。該系統利用先進的計量學和成像技術,制作出口罩和晶片的高分辨率圖像。該單元能夠檢測蒙版和晶圓中的陣列不連續性、陣列間隙和遺漏,以及線邊、線寬和側壁角度變化。此外,它還可以檢測汙染、缺陷和拋光失敗等缺陷。NANOMETRICS 8000 XSE由檢查平臺、數據分析模塊和精密光學級組成。檢測平臺由一臺具有6英寸固定視場的成像機組成,可放大至0.4 µm分辨率。光學階段包括一個自動聚焦工具,它允許掃描整個晶片的缺陷。可以使用用戶友好的圖形用戶界面遠程控制此資產。數據分析模塊包括用於檢測、分類和量化缺陷的專有算法,並提供這些問題的視覺表示。8000XSE利用一系列技術對缺陷進行檢測、分類和量化。這些技術包括光譜反射儀、彩色濾鏡成像和空間分辨率成像。這些分析技術允許檢測寬度小至0.2µm的缺陷。此外,該模型能夠在一次操作中掃描整個晶片,並且可以覆蓋高達200 mm ²的現場區域。8000 XSE還包括一個高速存儲卡,最多可存儲1000個圖像供以後查看。NANOMETRICS 8000XSE是制造口罩和晶片的寶貴工具。該設備提供了一系列高分辨率成像功能,可快速、準確地檢測各種缺陷。該系統旨在提供最大的生產率和質量保證,同時將生產成本降至最低。
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