二手 NANOMETRICS 9010 #293590700 待售

NANOMETRICS 9010掩模和晶片檢測設備是一種自動化的在線光學檢測系統,能夠測量、表征晶片圖樣上的各種缺陷並對其進行分類。用於檢測和分類半導體集成電路制造過程中的各種印刷品、缺陷和口罩。該單元以光學成像原理為基礎，利用高分辨率成像方法，實現更高水平的準確性和可重復性。機器由幾個高性能的光學系統組成，使它能夠以無損方式捕獲和分析晶片和掩模的圖像。它配有用於成像的高分辨率單色CCD相機和用於檢查和測量的內置軟件。所有組件都集成在一個精確的平臺上，這樣可以獲得準確和可重復的結果。該工具具有一個大的工作區域來測量大的蒙版和晶圓，最大視場高達180毫米x 180毫米。資產利用其具有10x/0.25NA、40x/0.5NA和90x/1.1NA的高性能立體顯微鏡。9010 Mask&Wafer Inspection Model能夠提供各種類型的晶圓圖樣和Mask的高級結果。它可以檢測和分類包括矽、聚合物和有機基板在內的多種材料上的缺陷。設備有一個內置的參數庫，可以編程來測量各種布局特征，包括線寬、螺距和邊緣。它還可以檢測與過程相關的錯誤,如重叠、橋接和縫合。此外,它還能夠通過通配符類在檢查掩碼邊緣、子像素縫線和後縫線檢查上自動進行縫線。這樣可確保晶片所看到的掩碼有效且不包含任何錯誤。檢查結果可以以PDF、TIFF和CSV等多種格式進行分析和存儲。用戶界面簡單、用戶友好，提供了查看和分析數據的簡便方法。用戶還可以自定義系統設置,以指定他們有興趣檢測的缺陷類型。總體而言，NANOMETRICS 9010掩模和晶片檢驗裝置是一種用途廣泛、準確的工具，用於檢測和分類各種晶片模式和掩模。它具有簡單的用戶界面和捕獲和分析高分辨率圖像的能力，是半導體行業的寶貴工具。