二手 NANOMETRICS AFT 4000 #85006 待售
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ID: 85006
Film thickness and reflectivity system
Standard film types measured
Single layer films: Visible 500-50,000A; UV 25-500A
Double layer films: Visible Top Layer 100-30,000A; Bottom Layer 100-10,000A
Single layer thick films: Visible 4-75 microns
Reflectance: Visible 400-850nm
Oxide on poly: UV 150-10,000A
Oxide on metal: Visable 3,000-20,000A; UV 500-5,000 A.
NANOMETRICS AFT 4000是一種掩模和晶片檢查設備,其設計目的是在將晶片暴露於危險化學品和後處理之前,準確、快速地評估有缺陷的掩模結構和晶片缺陷。此系統允許用戶快速檢查掩碼或晶片是否有缺陷,並報告信息以供進一步調查。AFT 4000在檢測和測量電介質中最小的缺陷方面提供了無與倫比的性能和高精度。該單元采用Quadra-Tech成像技術,可提供快速、高分辨率成像能力。這使NANOMETRICS AFT 4000能夠在所檢查的掩模或晶圓上生成掩模圖樣、圖層和3D特征的卓越圖像。機器還配備了獨特的耦合蝕刻特征分析工具,可以檢測介電和結構中的精細結構,它們之間的間距只有2到6 Lambda。此外,該工具還提供高級分析工具,如FTIR光譜學,使用戶能夠測量缺陷的精確物理和化學化合物特性。AFT 4000還配備了可選的診斷特征分析工具,使用戶能夠準確量化偏差的嚴重性。然後,此工具可幫助用戶確定缺陷是否會影響最終產品的質量,或者是否是可以在後期處理中安全修復的假陽性。NANOMETRICS AFT 4000是一種極為先進的掩模和晶圓檢測資產,旨在為用戶提供在缺陷評估方面的最高精度和速度。它的高級成像和分析功能使用戶能夠輕松地檢測和測量電介質中最小的缺陷,而其可選的診斷特征分析工具使用戶能夠在提交後處理之前準確識別和分析缺陷。
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