二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300 #9294762 待售
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NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CALIPER Q300是一種高度先進和全面的掩模和晶圓檢測設備。它提供了對用於制造各種電子設備的關鍵光刻掩模和晶圓元件的準確、自動化和一致的檢查。該系統由一個鏡頭檢測臺(LIT)、一個控制鏡頭的步進單元、一個光學站組成 (OS),其中包括三個獨立的光學系統,一個可編程對準模塊化放大鏡 (PAMM)顯微鏡、帶有高分辨率數碼成像相機的檢測性能站和機械臂 (RA)針對心軸載荷、接近感應和零件的精確對準進行了優化。LIT是一種精密傳輸臺,其表面嵌入可調節和鎖定的公差,以確保平臺上的所有光學元件在整個檢查周期中保持在同一位置。這可以讓機器提供一個統一的結果,而不管透鏡對準參數的差異所帶來的任何失真。操作系統負責掩模和晶圓組件的光學傳輸。它由空間和高能效的光學設計組成,可通過多種放大倍數提供最大分辨率。它包含三個獨立的光學系統,即PAMM和檢查性能站,允許同時進行檢查和更精確的點測量。PAMM是一種配有先進傳感和圖像分析能力的顯微鏡。其自動特征提取算法識別和分析掩碼和晶圓特征,如線寬、間距或其他需要測量的關鍵尺寸。檢查性能站使用高分辨率數碼成像相機在檢查過程中捕獲和存儲掩模和晶片組件的圖像。相機可確保掩模和晶片表面的精確均勻性,並能夠快速準確地進行均勻性測量。RA是一種智能機械臂,用於加載和自動定位晶片和掩模組件,以便進行最精確的測量。它還使工具能夠在一個步驟中處理晶圓,從而提高加工速度和效率。ACCENT CALIPER Q300在面罩和晶片檢測方面是一種先進而有效的儀器。其精確的光學系統,結合PAMM顯微鏡、高分辨率數碼相機和機械臂,提供了制造電子設備時使用的最復雜元件的一致檢查結果。
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