二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CDS 200 #9105488 待售
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NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CDS 200是一款高性能、先進的掩模和晶圓檢測設備,旨在滿足半導體行業最苛刻的掩模和晶圓檢測要求。該系統能夠檢測分辨率為5微米的面罩和分辨率為0.1微米的晶圓圖案,對於更大的圖案可以提供高達16倍的放大倍率。它具有每小時720個圖像的高吞吐量,以及用於快速作業設置和圖像處理的自動圖像傳輸單元。該機器建立在基於Windows的平臺上,具有用戶友好的圖形界面,允許廣泛的用戶定義的檢查參數。它有能力檢測常見的表面缺陷,如顆粒、殘留物和劃痕,以及結構缺陷,包括缺失和超大的物體。此外,該工具還可用於檢測暗場缺陷,如微粗糙度和互連缺陷。ACCENT CDS 200還實現了多通道設置,可以適應各種客戶要求,包括自動目視檢查、自動表面檢查、自動3D檢查、自動光電檢查和自動模具剪切檢查。BIO-RAD CDS 200具有完全集成的相機資產,具有高清成像功能和自動圖像采集和縫合功能。此外,該模型還具有獨特的多方向模式識別算法,能夠準確檢測小缺陷。NANOMETRICS CDS 200能夠就檢測到的缺陷提供反饋,從而能夠準確地對缺陷進行表征和分類。該設備還采用了最先進的控制方案,確保所檢查的口罩和晶片的生產達到最高質量標準。該系統提供了可追蹤性和實時查看功能,以及可配置的工作流驅動功能,以便於操作。此外,該單元還確保遵守各種標準,包括SEMI D 10和SEMI F 50標準。CDS 200還包括一整套用於圖像分析和缺陷檢測的軟件工具,允許快速診斷缺陷。該機設計為滿足各種應用的高吞吐量和精度要求,包括晶圓和掩模制造、光缺陷檢測、掩模測量和校正,以及專門的產品檢驗。
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