二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9183432 待售
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ID: 9183432
Overlay measurement system, 8"
Hardware configuration:
Main system:
Main body
PC Control console
SMIF System: (2) Indexers
Handler system:
Robot unit
Prealigner
CIM Linked
2000 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Q200i是一種先進可靠的掩模和晶圓檢測設備。該系統專為大批量生產線而設計,提供快速準確的效果。它提供高達400毫米晶圓尺寸的掃描功能,以及從像素級到線條/空間布局的各種檢查選項。基本單元由主傳感器級、樣本級、計算機和外圍設備以及控制軟件組成。主傳感器級配備了5MP CCD攝像頭,可提供優越μ 6 m像素大小,可精確定位晶片和掩模缺陷。樣本級是一個帶有閉環運動控制機的電動級,提供高達350毫米/秒的掃描速度和400毫米x 400mm的X-Y行程。ACCENT Q200i控制軟件利用攝像頭、舞臺和其他硬件組件的功能來執行自動圖像分析。它與幾種智能算法協同工作,快速檢測光刻相關缺陷和其他復雜模式。此外,它還具有用於執行多個晶圓檢查的切塊和縫合工具,以及用於顯示檢查結果的數據圖形用戶界面。該資產還與多個第三方模式識別軟件兼容,提供準確的結果和高效的檢查工作流程。它還設計為易於安裝,並且在操作過程中需要最少的用戶幹預。此外,它還設計了先進的自動對焦模型、遠程監控和可選的內置背景噪聲消除硬件,以確保最高的準確性和可靠性。總之,BIO-RAD Q200i是一種強大、高效、可靠的大批量生產線面膜晶片檢測設備。該系統配備了5MP CCD攝像頭、電動采樣臺以及各種其他組件和智能算法,用於執行精確的圖像分析和檢測復雜的光刻相關缺陷。此外,它易於安裝,並提供各種第三方模式識別軟件選項,以實現高效的檢查工作流程。
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