二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9235491 待售
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單擊可縮放
ID: 9235491
優質的: 2002
Overlay measurement system, 8"
EFEM
AC Rack
(3) Cartons
GENMARK Robot
Blade type: PE
Handler type: ARM
Per-aligner
Mini environment
(4) Wires + Ground
AC Distribution box
No transformer
No UPS
No heat exchanger / Chiller
No pump
Frequency: 50 / 60 Hz
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Full load amp: 20 A
Interrupting capacity: 14 kA
2002 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Q200i是一種高性能的掩模和晶圓檢測設備外圍設備。它專為改進先進半導體生產的制造工藝而設計，為精密掩模和晶圓掃描提供了卓越的圖像質量和對準精度。該系統包括一個高度可靠的晶體樣品級，用於精確、可重復定位和對準掩模和晶圓樣品，以及集成的圖像觸覺缺陷檢測機制。ACCENT Q200i利用ACCENT級光學和光學級成像技術來成像並揭示當今的超薄半導體結構難以檢測的缺陷。它的有效視野擴大到涵蓋整個遮罩區域，提供小至1 μ m的區域的詳細放大視圖。該單元產生的高質量缺陷圖像的分辨率大於傳統光學方法所能達到的分辨率，使其能夠查明甚至是最輕微的保護層沈積缺陷。BIO-RAD Q 200i的高級計算功能允許進行亞納秒成像和超精確圖像分析。機器可以比較多個圖像,以便在掃描過程中檢測到對齊打滑,並在發生任何損壞之前停止掃描。此功能有助於確保最終產品的最大質量。Q200i在掩模和晶圓成像方面提供了卓越的清晰度、可重復性和可靠性。它可以與現有的自動化設備集成以提高效率，其先進的光學和成像能力為生產質量最高的晶片和設備提供了極好的優勢。
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