二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Quaestor Q7 #9112912 待售
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ID: 9112912
晶圓大小: 8"
Wafer inspection system, 8"
CMC Servo Motor: MT2115-014DF
KLK A-10
Xenon Lamp: X58000000, 110V, 50Hz
Control Station: Q7, 110VAC, 50/60Hz.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Quaestor Q7是一種前沿掩模和晶圓檢測設備,設計用於半導體掩模和晶圓制造中的經濟高效的過程控制、產量管理和缺陷檢測。該系統利用先進的光學技術來檢測和分析掩模和晶片表面的缺陷,使工藝工程師能夠快速識別和糾正可能阻礙生產和產量的問題。Q7單元采用由照明、成像、光學和檢測四個不同子系統組成的整體光學機器。此工具旨在實現Exabits以外的光學分辨率,與傳統成像系統相比具有明顯優勢。基於光纖的照明資產允許在掩模或晶片的整個掃描過程中實現光的均勻性。成像子系統提供高清成像功能,不會使傳統光學系統模糊或失真,即使是最小的缺陷也能準確捕獲。Q7光學模型在線性或發散幾何中運行,為精確的缺陷檢測和測量提供了更高的精度和更大的視野。最後,檢測子系統利用體系結構標記到空間檢測算法快速檢測表面異常和缺陷。Q7的功能不僅僅是檢測缺陷。為了方便測試和數據分析,設備配備了用戶友好的圖形用戶界面(GUI),允許用戶控制和配置系統設置,並提供了一套全面的測量和分析工具,可用於檢測微小的缺陷和趨勢分析。Q7還配備了自動測量單元(AMS),使工藝工程師能夠高精度地收集大量數據。這些數據可用於評估制造工藝的有效性、跟蹤晶片和確定生產數據的趨勢。此數據可以通過USB或以太網上載,從而可以輕松存儲和分析大量數據。Q7是低維護,非常擅長以較小的占用空間提供大量數據。其先進的光學功能適用於生產4 nm以下節點的成熟解決方案和開發過程,從而確保最小停機時間和提高產量。
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