二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Quaestor Q8 #9229790 待售
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ID: 9229790
晶圓大小: 8"
System, 8"
Control unit
Fully robotic with random access
Pick and place
(2) Cassette user programmable wafer handlers
X / Y Stage controlled:
Toothed belts to frictionless ball screws & linear roller bearings
PEEK FPAS Pre-aligner:
Non-edge contact
Flat and notch detection
Z-Stage movement: Linear direct drive DC torque motor
Interfacing hardware upgrade with AGV
Wafer cassette audit capability
JFDI Optics module
DC Servo motor alignment
Motorized pinhole
Xe Arc lamp illumination
FPAS Linear arm
Transfer arm
Stage top plate
26 Slot flipper upgraded kit.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Quaestor Q8是一種掩模和晶片檢查設備,設計用於檢查光刻中使用的蝕刻掩模和晶片。該系統由一個8英寸晶圓尺寸的支撐室構成,能夠對掩模和晶圓進行高放大成像。它有一個雙單元設計,允許兩個完整的系統在一個腔室,與FAB 2,光學正確,消色差目標,減少失真和創造高質量的圖像從最高分辨率和最佳對比度。對ACCENT Quaestor Q8的光學器件進行了優化,以最大限度地實現任何類型的掩模或晶片中任何大小、形狀、材料和方向特征的成像和可檢測性,而不會產生失真。它帶有一個5軸混合平移/旋轉階段,能夠進行不受限制的運動,從而能夠檢查尺寸過大的晶片或幾何形狀非常復雜的晶片。該機配備了一對Dalsa 4百萬像素單色相機,以LED、鹵素等多種光源捕捉大面積圖像。這些攝像頭還支持功能豐富的軟件,允許用戶測量、記錄和報告他們檢測到的任何異常或缺陷。BIO-RAD Quaestor Q8配備了一個先進的硬件和軟件工具,可以在分析任何給定的掩碼或晶圓時最大限度地提高其性能和準確性。它旨在實現圖像自動采集、產品對齊、缺陷識別和分類。它結合了強大的算法來分割、比較和分析數據,例如丟失/添加的特征的數量,縮小缺陷分析範圍並減少誤報。該資產還具有模式匹配功能,允許用戶立即檢測和比較不同的掩碼或晶片之間的模式,以及在橫截面中查看圖像以增強分析的能力。總體而言,NANOMETRICS Quaestor Q8為掩模和晶圓分析提供了一個全面的檢驗模型。其先進的光學器件旨在確保最高質量和最精確的成像,而其先進的硬件和軟件設備則確保了高水平的自動化和精確度。這些功能使用戶能夠快速輕松地檢測和分類任何類型的掩碼或晶片上的異常。
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