二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT RPM 2000 #9219508 待售
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已售出
ID: 9219508
優質的: 2007
PL Mapping system
A-532nm Laser (Port A):
Laser type: JDS UNIPHASE 532 nm DSPP
Output wavelength (nm): 532 nm
Head and PSU / Controller
Spot size on RPM entry slit: 1.3
Output power:
Direct from laser: 55.2 mW
Sample: 41.8 mw
Power stability: <1% Over 2 hours
2007 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT RPM 2000是為半導體工業設計的先進的掩模和晶圓檢測設備。它提供了對掩模和晶片表面圖樣特征的快速、準確的測量,從而提高了工藝能力和產品質量。ACCENT RPM 2000具有高速、優越的光學和遠距離檢測功能,非常適合各種自動檢查任務。BIO-RAD RPM 2000是一個基於共焦光學單元的3軸、非接觸式精密成像和對準系統。這臺機器配備了高分辨率CCD相機，用於獲取晶圓和掩模表面圖樣的圖像，像素分辨率高達10納米。獲取圖像時,工具通過捕獲圖像中的參考圖樣來精確對齊晶片和掩碼。RPM 2000還具有內置的圖像處理功能,使其能夠快速檢測細微的缺陷模式,如劃痕、顆粒、汙染物和磨損邊緣。該資產先進的光學和編碼系統使其能夠測量雙波長和多反射數據以進行更高精度的特征測量。此外,NANOMETRICS RPM 2000還可以精確測量各種微觀特征,包括缺口、縫隙、橋梁和螺距,並具有卓越的重復性和準確性。NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT RPM 2000的自動化操作通過降低操作員的工作量來提高效率,從而以最小的檢查成本提供更高質量的結果。ACCENT RPM 2000為收集的數據提供了多種輸出格式,使模型易於集成到現有的數據管理環境中。設備強大的軟件包使用戶能夠快速高效地促進從數據收集到數據處理和分析的整個檢查過程。BIO-RAD RPM 2000是一種先進的掩模和晶圓檢測系統,可對各種基材和材料上的微觀特征和缺陷提供準確、可靠和快速的分析。憑借易於使用的界面和自動化操作,RPM 2000能夠快速準確地提供數據,從而使用戶能夠獲得更高水平的流程能力和質量控制。
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