二手 NANOMETRICS Caliper Elan #293625779 待售

NANOMETRICS Caliper Elan是一款先進的口罩和晶圓檢測設備。它旨在根據各種產品設計標準快速測試和監控光刻工藝性能。該系統結合了自動成像、快速訪問數據庫、強大的圖像分析工具和高級數據分析功能。它用於分析晶片和掩碼的可打印性和表面拓撲。它旨在快速準確地檢測晶片中的缺陷。該單元支持高對比度成像和多光譜成像,非常適合監視任意數量的過程變量,如線寬、臨界尺寸、叠加誤差和側壁角。它還提供了高精度和精確的測量。該機還包括一個功能強大的Caliper軟件平臺，與各種基礎設施集成。該平臺使用戶能夠設置、對齊和控制任務以及可視化實時數據。此外,它還支持單模式和多模式檢查,支持手動和自動審核,以及與各種圖像和掩碼格式的兼容性。該工具可以借助PreScan晶片和掩碼預掃描向導實現自動化,該向導允許用戶確定檢查所需的關鍵進程參數和對齊方式。Caliper Elan中的Activa Alignment Asset可幫助用戶將掩碼精確地對齊晶圓的活動區域。該模型還支持模擬打印過程,這有助於在開始生產之前檢測潛在的錯誤。該設備還提供強大的報告功能,可生成各種格式的報告。這可幫助用戶跟蹤單個流程性能,並將流程性能與以前的結果進行比較。此外，該系統允許用戶在全球和個人層面上監測和分析流程。NANOMETRICS Caliper Elan蒙版和晶圓檢測儀設計為提供精確精確的晶圓和蒙版測試結果。它具有自動圖像處理、多光譜成像功能、強大的報告功能和自動監控功能,是監測和改進光刻工藝性能的理想工具。