二手 NANOMETRICS Caliper Elan #293825603 待售
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單擊可縮放
ID: 293825603
晶圓大小: 8"-12"
Overlay metrology system, 8"-12"
Wafer handler
Load station
Wafer stage
Wafer chuck
Electronic rack
Board.
NANOMETRICS Caliper是半導體工業的高精度掩模和晶圓檢測設備。該系統旨在提供高分辨率成像和分析,以更好地實現關鍵掩模和晶圓制造過程的過程控制和質量保證。該裝置采用自動識別和分析引擎，加上高度集成的光學顯微鏡機器。自動化工具能夠識別和分析蒙版上的各種特性和缺陷,以及蒙版與晶片對齊。資產的顯微鏡元件提供了一種先進的基於CCD的成像能力，分辨率高達10微米。該型號高度自動化,可用於在生產前和最終生產期間自動檢查口罩。它也可以與其他檢測設備（如CDSEM或LSA工具）結合使用，以更完整地查看掩模和晶圓質量。該設備在基於Windows的操作系統上運行，並提供直觀的圖形用戶界面。該單元包括強大的數據庫和報告功能,允許用戶輕松記錄、存儲和訪問所有流程和檢查數據。Caliper還提供了根據各種客戶尺寸和要求定制機器的靈活性。該工具旨在與現有和自定義自動化系統集成。該資產提供了多種模型特征和參數,允許用戶根據自己的特定要求定制檢查過程。它也可用於將顯微鏡的圖像發送到其他系統或其他利益相關者。簡而言之,NANOMETRICS Caliper提供了功能強大的自動掩模和晶片檢查設備,旨在讓客戶更好地了解和控制掩模和晶片制造過程。該系統是完全自動化和高度可定制的,提供卓越的分辨率以及廣泛的特性和參數,用於過程控制和質量保證。
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