二手 NANOMETRICS Caliper Elan #9298745 待售

NANOMETRICS Caliper Elan是一種掩模和晶圓檢測設備，設計用於精確測量和記錄半導體掩模和晶圓上缺陷的存在、位置和大小。該系統采用自動光學顯微鏡單元和精密測量階段。光學顯微鏡設計用於提供低功率物鏡和用於成像的高功率立體放大倍率，以及包括紅外和紫外波長在內的多光譜成像。精密測量階段提供超低慣性運動、快速沈降時間和出色的運動保真度。這臺機器能夠比以往任何時候都更詳細地檢查掩模或晶片的所有生產層。使用復雜的算法和自動測量，它可以檢測和分類任何大小的缺陷以及確定它們的位置和大小。這樣不僅可以識別和解決缺陷,而且可以將任何較大、有問題的缺陷跟蹤到其來源。Caliper Elan還具有高級3D和關鍵尺寸（CD）監督功能。這樣就可以快速理解和檢查復雜層的結構和結構中的關鍵維度、關鍵單個維度中的異常或地形上的錯位或形狀差異。此外,該工具還可以對側壁角度、模具尺寸和透明度進行元件檢查,從而實現快速準確的診斷。最後,NANOMETRICS Caliper Elan資產提供了一個用戶友好的GUI,其中包含可編程模板和可定制視圖。直觀的平臺允許輕松收集數據和高效報告。利用內置的統計審查和報告功能,用戶可以生成符合標準的晶圓和掩碼圖,從而提供對產量的信心並支持故障分析。總體而言，Caliper Elan是一種先進、高效的掩模和晶圓檢測模型。它提供了前所未有的成像和分析功能,對於需要快速準確地生產高質量產品的半導體生產商來說,它是一個非常寶貴的工具。