二手 NANOMETRICS Caliper Elan #9378705 待售

NANOMETRICS Caliper Elan
ID: 9378705
Overlay metrology system.
NANOMETRICS Caliper Elan是一款用於生產級圖樣檢測的最先進的面膜和晶圓檢測設備。它旨在快速、準確地檢測各種基板上的圖樣,包括標線、掩模缺陷、晶圓缺陷、印刷電路板和納米級光刻缺陷。該系統具有廣泛的模式和缺陷檢測功能,可用於快速識別各種生產過程中的潛在問題。該單元利用先進的光學、成像和電氣傳感技術來精確掃描、成像和檢查目標區域。機器中的光學器件采用激光照明、LED照明和波導技術,以確保準確的缺陷檢測和成像。成像工具由多個攝像頭組成,可提供廣闊的視野,使資產能夠以高分辨率捕獲極其詳細的圖像。此外,該模型還能夠使用自動光學計量技術來測量圖樣特性、線寬、臨界調光和其他關鍵參數。在設備的電氣方面,它采用多種電氣傳感技術檢測生產中的電氣問題,如開路和短路缺陷,還能夠確定漏電電流等一般電氣特性。該系統將這些不同的傳感技術與先進的模式識別算法相結合,分析目標基板上的模式。這使設備能夠快速識別潛在的掩碼缺陷、晶圓缺陷或其他與過程相關的問題。最後,機器能夠以多種格式提供高速、高分辨率的結果,包括計量和顏色映射。Caliper Elan還提供多種軟件和硬件選項,因此用戶可以根據自己的需求定制工具。通過結合最佳成像和電氣技術,NANOMETRICS Caliper Elan提供了有關目標模式的高度準確、詳細的信息。這使得它成為生產級模式檢查的理想選擇。
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