二手 NANOMETRICS Caliper Elan #9390468 待售

NANOMETRICS Caliper Elan是一個可靠、堅固的掩模和晶圓檢測平臺。它結合了高精度計量和3D成像功能，以確保最高質量的掩模和晶片。該設備利用先進的成像技術對缺陷結構進行分析，快速、準確地進行晶圓對準操作。Caliper Elan的設計目的是高效地發現和分類高分辨率的口罩和晶片上的缺陷。它具有高分辨率圖像捕獲系統、高速級和先進的成像算法來檢測和分類缺陷。該單元能夠以2.5微米分辨率捕獲圖像。而且，它具有捕獲每個晶片的多個圖像的能力，可以同時進行分析，從而使檢查過程更快、更高效。該機器還提供各種缺陷特征和分析。它可以對顆粒、凹坑、短褲、花紋中的顆粒、填充不足的缺陷、線短褲、線對線接觸以及高密度的結構進行分類。此外,它還提供3D特性和測量功能,以輕松檢測可能影響掩模或晶片質量的任何類型的缺陷。NANOMETRICS Caliper Elan還配備了自動晶片對準和定位工具，設計用於不同晶片之間的精確和可重復對準。這種特性對於大型晶片和面板特別有用，因為精確的對準是必不可少的，特別是為了確保準確的缺陷檢查。該資產允許晶片在X-Y平面或沿垂直Z軸對齊,在+/-3弧分內具有角精度和可重復性。Caliper Elan與NANOMETRICS制造設備完全集成，允許與其他晶圓處理設備、數據采集和對準系統實現無縫連接。此外，它還提供了一個圖形用戶界面，簡化了模型的導航和使用。總體而言,NANOMETRICS Caliper Elan是一種多功能的掩模和晶片檢測設備,可提供高分辨率的成像和缺陷表征功能,確保高質量的掩模和晶片。它高度可靠、堅固，致力於提高檢查過程的準確性和效率。