二手 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9383063 待售

NANOMETRICS Caliper Mosaic是一種掩模和晶圓檢測設備，利用激光掃描配合平面成像，獲得晶圓、掩模和相關材料中有圖案和無圖案結構的納米級圖像。該系統具有三個不同的功能：光學測量、成像和掩模計量。使用激光掃描，Caliper Mosaic在7.5微米分辨率（納米）的晶圓映射模式下提供了小於5nm的最大測量精度。該單元還提供了在正負2納米範圍內精確測量的研磨膜的動態分析。此外，利用其自動逆向工程軟件，該機器能夠分析從光學掃描的光刻圖樣表面收集的叠加測量和登記數據。憑借其成像能力，該工具可以提供晶圓和掩模特征的亞微米分辨率成像。使用高分辨率的500萬像素物鏡獲取15微米範圍內的圖像。獲取的圖像也可以根據需要進行調整、縮放、旋轉和定位。此外,該資產還提供集成的模式比較軟件,可用於將光學掃描的功能和項與預先確定的模板列表相匹配。NANOMETRICS Caliper Mosaic也適用於面罩圖樣的廣泛計量操作，包括探針對準、叠加移位測量、CD控制、復雜叠加分析和元件放置。它利用兩種匹配的NIST鍍層基板來識別叠加位移和誤差。然後將生成的數據用於執行叠加控制的失真分析。總之，Caliper Mosaic是一種高度精密的模型，在納米級分辨率水平上提供全面的掩模和晶圓檢測能力。它提供精確的光學測量、成像和掩模計量能力，深入了解用於制造微電子器件的材料的結構和模式。該設備對於需要嚴格測量精度的工業應用來說是非常寶貴的，因為它可以用來最精確地準確地搖動和檢查目標物體。