二手 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9383354 待售
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NANOMETRICS Caliper Mosaic是一款基於協作的高端口罩和晶圓檢測設備,為先進的檢測能力和可用性設定了行業基準。該系統可以適應廣泛的應用領域，從缺陷檢查和審查到汙染檢查以及晶片和掩模的最終遠心視圖。Caliper Mosaic單元的功能使用戶能夠使用直觀的用戶界面輕松設置生產級模式識別功能,從而減少設置和維護時間。NANOMETRICS Caliper Mosaic機器的主要部件包括高分辨率電荷耦合器件（CCD）相機、可移動光學盒和緊湊、堅固的掃描臺。強大的CCD相機使用戶能夠檢查薄膜場效應晶體（TFT）晶片、外延晶片以及各種類型的光掩模。它的弱光相機設計允許用戶在任何照明條件下進行高質量的檢查。同時，它的高分辨率光學器件提供了精確檢測缺陷和其他特征所需的精確度。該工具還提供精湛的模式匹配性能，與新開發的「雙光束」激光掃描和檢查面罩和晶圓模式的邊緣快速和準確。激光使資產能夠快速準確地檢查臨界尺寸（CD）和非臨界尺寸（NCD）樣本。此外,「雙光束」激光器的小光束尺寸能夠最快地匹配密集模式,最適合捕捉快速移動的模式。Caliper Mosaic模型還具有經過微調的缺陷分類庫,該庫有助於減少錯誤警報,以及完整的後處理功能,為用戶提供對問題區域的全面評估。這使用戶可以更好地控制檢查結果,識別較小的缺陷並分析較大的缺陷。NANOMETRICS Caliper Mosaic是一款多功能、高效、可靠的掩模和晶圓檢測設備。除了基本的模式匹配功能、缺陷分類和後處理功能外,它還為用戶提供準確、精密的檢查結果。此高級工具旨在滿足所有掩模和晶片檢查需求,同時提供易於使用和用戶友好的界面。
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