二手 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9384480 待售

ID: 9384480
晶圓大小: 12"
Overlay control system, 12" EFEM Module BROOKS Razor robot Does not include load port.
NANOMETRICS Caliper Mosaic是NANOMETRICS開發的一款靈活、集成、功能強大的掩模和晶圓檢測設備,支持半導體行業先進的工藝控制,提高產量。該系統具有自動光學檢查和圖像處理功能的優化組合,以及支持圖像管理和缺陷分析的一套軟件工具。這使設備能夠可靠地檢測和分類缺陷。機器使用的圖像傳感器在相位和傳輸圖像中提供快速、低噪聲讀數。創建晶片的二進制圖像,並將其與客戶定義的掩碼和產品圖像進行比較,從而可以檢測尺寸小至3納米的特征。該檢查工具采用雙光束共聚焦掃描顯微鏡(DCSM),具有出色的景深和高分辨率成像能力,能夠精確查明和描述缺陷。檢查資產采用四軸掃描級,能夠在X-Y平面上以250納米的精度進行高速掃描。該模型的圖像處理軟件包括可以檢測到非常微弱特征的算法,如晶圓表面的劃痕、顆粒和缺陷,以及特征和缺陷分類算法來區分各種類型的缺陷。此外,該設備還提供了功能強大、用戶友好的圖形用戶界面,簡化了檢查作業的設計、設置和運行,同時還實現了缺陷圖像的自動詳細分析和特征描述,使用戶能夠快速準確診斷和解決產量和處理問題。歸根結底,Caliper Mosaic將高分辨率成像、自動圖像處理和直觀軟件相結合,有助於確保客戶的質量控制和產量要求得到滿足。
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