二手 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9390470 待售

NANOMETRICS Caliper Mosaic
ID: 9390470
Overlay control systems.
NANOMETRICS Caliper Mosaic是一種用於分析納米級面罩和晶片的面罩和晶片檢測設備。它對於檢查高密度圖樣和特征特別有用,這些圖樣和特征對於傳統的光學檢查系統來說通常太小。簡化的光學設計利用高精度成像光學器件以及先進的數據采集技術來創建一個全面、自動化的晶圓檢測系統。Caliper Mosaic單元提供可靠和準確的晶圓圖樣定量分析,分辨率可達10 nm。該機由成像光學、CCD相機和高性能計算平臺組成。其先進的成像光學器件專為增強小幾何形狀的圖像清晰度而設計,同時也將散射光對成像結果的影響降至最低。該工具還能夠檢查廣泛的基材,包括鉻面膜、紫外線面膜、標線和不透明晶片。該資產采用了多種先進技術,如高速圖像采集模型,該模型最大限度地減少了失真,並采用了在多波長下工作的尖端激光測繪技術,以達到前所未有的檢測精度。模式識別、模糊分析等先進的數據分析技術進一步提高了檢測過程的質量。該設備還可用於比較兩個圖像,以便檢測到較小的模式差異。用戶友好的系統界面提供了對晶圓檢測過程的直觀控制,具有多種可視化選項。圖形顯示顯示檢查結果,並且可以使用相同的軟件查看模式、分析檢測到的缺陷以及生成詳細報告。NANOMETRICS Caliper Mosaic單元可以自動優化各種參數,如焦點、切線以及模式檢測的閾值。Caliper Mosaic旨在為晶圓和掩模檢測提供全面的解決方案。憑借其高分辨率的成像和詳細的缺陷檢測,這種健壯的檢測機器確保了準確性、重復性和吞吐量。
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