二手 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9411495 待售
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NANOMETRICS Caliper Mosaic是一種精密的掩模和晶圓檢測設備,提供景深成像和高分辨率測量。該系統為臨界叠加和3D統計過程控制應用提供了無與倫比的準確性。該單元提供了工藝優化、高數據準確性和可重復性的終極解決方案,並提供了對關鍵掩碼和晶片的詳細分析和表征。Caliper Mosaic機的光學套件由高端遠心透鏡、先進遠心光源、精密的幀抓取器和先進的圖像處理組成,它們凝膠在一起,提供了高性能的成像解決方案。遠程中心透鏡可確保在大視野上的高均勻照明,因此允許3D音量檢查。這樣可以確保晶片的精確配準、覆蓋配準和精確倒角檢測。該工具具有精確測量分辨率低至1納米的臨界尺寸和線寬的能力。該資產還具有自動化機器視覺技術,使其能夠分析晶圓或掩模的3D表面,並提供其表面特性的精確度量。該模型能夠以極高的精度檢測微小缺陷,如顆粒、裂紋、摻雜劑擴散和其他異常。該設備還具有先進的傅立葉變換和離散余弦變換算法,可精確測量圖像的頻譜、相位和對比度。該系統具有手動和自動操作模式,易於使用。手動模式使用戶能夠完全控制映像過程,並能夠捕獲、編輯和分析同一環境中的映像。自動模式處理大部分步驟,如與軟件對齊和特征識別。NANOMETRICS Caliper Mosaic單元還具有多種高級數據分析工具,可提供有關晶片和掩模的均勻性和表面特性的詳細信息。總體而言,Caliper Mosaic機器是一種先進的掩模和晶片檢測工具,具有前所未有的精度和性能。憑借其高分辨率的測量能力、3D成像能力和自動化的機器視覺技術,此資產為關鍵的叠加和統計過程控制應用提供了終極解決方案。
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