二手 NANOMETRICS M-215 #9226304 待售
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NANOMETRICS M-215是由NANOMETRICS Incorporated設計制造的高端掩模和晶圓檢測設備。它為半導體掩模制造商和集成電路(IC)制造商提供了成像、計量和過程監控功能的獨特組合。M-215系統采用最新的手持式原子力顯微鏡技術,能夠以納米分辨率和準確度掃描二維表面。其設計具有對口罩、晶片和相關材料如光致抗蝕劑、聚合物、薄膜、鉛架等工藝殘留物的特定檢測能力。NANOMETRICS M-215集成了納米專利的「平面圖像處理」(PIP)算法,使其能夠精確測量放置的圖樣和缺陷上的關鍵地形特征。PIP還允許技術人員從多個角度查看圖像,從而使他們能夠更好地隔離有問題的區域。該單元提供了幾種便利,例如直觀的圖形用戶界面(GUI)。GUI提供了在給定的掩碼或晶片上執行各種任務的能力,如模式識別、缺陷識別以及精確的尺寸和特性確定。這使得M-215非常適合缺陷檢查和工藝優化。除了PIP之外,NANOMETRICS M-215還具有基於高級算法的自動圖像恢復功能,可用於評估表面或織物不均勻的材料。它還能夠識別翻轉角並精確測量所需的參數,例如線寬、螺距、外形尺寸、工藝元素、拓撲和缺陷。而且,機器配備了特定於過程的分析能力,模擬各種半導體的過程步驟來檢查兼容性,優化它們的性能。簡而言之,M-215代表了參與高級掩模和晶圓檢驗的任何制造商或研究人員的精密工具。該工具結合了創新的成像和計量功能、復雜的算法以及可靠的自動圖像恢復,在檢查和表征材料時提供了卓越的功能和準確性。
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