二手 NANOMETRICS M-5000 #9159251 待售

NANOMETRICS M-5000是為大批量生產環境設計的掩模和晶圓檢測設備。該自動化系統提供晶圓幾何的缺陷地形和特征測量的精確測量。該裝置利用先進的成像技術來捕捉晶圓的詳細圖像，並使用快速激光掃描頭在大面積上繪制缺陷。NANOMETRICS M5000利用振蕩Y軸機構和高速X軸級/鏡像,能夠在一次掃描中掃描單個晶片,而不會中斷。這樣可以以更高的精度減少吞吐量時間。高度集成的計量機為2D和3D圖像捕獲提供了暗場和明場成像,實現了卓越的缺陷表征和晶圓計量學。M-5000采用復雜的算法對圖像進行分析，然後計算出各種缺陷參數。集成軟件工具支持快速準確地測量元件的尺寸、距離和角度,以及邊緣繪圖、評分和基於層的顏色對比的能力。檢查資產收集的數據以全面的圖形用戶界面顯示，大大提高了缺陷可見性。憑借其高分辨率相機和集成的測量工具，M5000已被證明可以提高客戶的制造產量。此外，NANOMETRICS M-5000包括一系列自動校準和驗證程序，這些程序可配置用於晶圓的清潔室和非清潔室形狀，以及單區和多區輪廓/非輪廓晶圓表面。此外，NANOMETRICS M5000模型的先進成像能力使它能夠監測較小設備中的缺陷，如耀斑和斜面缺陷。其直觀的導航控制設備有助於減少缺陷檢測時間，同時提高缺陷檢測精度。該系統還通過生成PDF或表格報告來幫助處理缺陷報告。總體而言，M-5000是為半導體行業大批量生產而設計和制造的先進計量單元，提供詳細的缺陷地形和特征測量能力。該機器非常先進,可提供顯著的吞吐量和準確性優勢,對生產和制造過程極為重要。