二手 NANOMETRICS M6100A #9165235 待售
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NANOMETRICS M6100A是一種設計用於半導體制造的高性能掩模和晶圓檢測設備。它用於檢測電路和組件中可能影響最終產品性能的任何潛在缺陷。M6100A提供了一些高級功能,以提高其性能和準確性。由廣角CCD相機、lnPs(雷射反射模式識別處理器)和離軸照明光學器件組成的自動光學檢查系統為光刻模式提供了卓越的成像效果。該裝置能夠檢測分辨率低至50納米的晶片。多區高能激光器也可用於曝光光刻圖樣內非常小的預定義區域。超高分辨率成像機有助於驗證光刻圖樣的缺陷和準確性。NANOMETRICS M6100A配備了高精度級,可以在檢查和晶圓處理過程中精確對準晶圓。該工具可容納直徑不超過200毫米的晶片,並且與所有領先的晶片處理框架兼容。M6100A提供了其他幾個功能來增強其性能。集成的低振動工作站可用於分析因外部振動而產生的最小幹擾的小型結構。有一種氮等離子體洗滌裝置,便於在檢查前快速清潔晶片表面。集成的數字數據采集資產允許用戶可視化和存儲測量結果。總體而言,NANOMETRICS M6100A是一種功能強大的高性能掩模和晶圓檢測模型,設計用於半導體制造。它提供卓越的成像能力、高分辨率檢查和精確的晶圓處理能力。強大的設計和功能使M6100A成為高容量電子元器件高質量生產的理想解決方案。
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