二手 NANOMETRICS M6100UV-L6 #9257609 待售

NANOMETRICS M6100UV-L6
ID: 9257609
Thickness measurement system.
NANOMETRICS M6100UV-L6是在制造過程中檢查集成電路的掩模和晶圓檢測設備。它能夠檢查各種模式和特征,包括miniflat結構、線條和空間。M6100UV-L6用激光束掃描表面的微小缺陷和偏差。它的光學系統包括蝕刻的反射鏡,可以減小激光束的大小,達到高達97倍的放大倍率。該裝置配備360度CCD(帶電耦合器件)相機,提供掩模或晶圓的3維透視,並使用高分辨率光學器件來識別低至2微米的缺陷。CCD相機還具有自動對焦跟蹤功能,可以檢測和糾正掃描平面中光束的錯位。此外,可選的背光源還可確保容易檢測和突出顯示深色特征(如透矽通氣)。這款掃描儀還配備了多種其他功能,包括電動xyz級,允許在單個晶片或掩模上的各個位置之間快速移動。此外,還可以使用包含的桌面應用程序軟件快速查看和分析高分辨率圖像。該軟件允許用戶生成和保存報告,這些報告提供有關觀察到的任何錯誤缺陷的性質、大小和布局的詳細信息。總體而言,NANOMETRICS M6100UV-L6是一種先進的掩模和晶圓檢測機,具有許多優點,包括非常詳細的檢查記錄以及能夠輕松查明和識別任何有缺陷的組件。通過提供詳細的報告,工程師可以查明開發周期中的問題並快速識別和糾正這些問題,從而加快生產周期並節省成本。
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