二手 NANOMETRICS NANOLINE 50-2 #9193170 待售

NANOMETRICS NANOLINE 50-2是一種自動化的高速掩模和晶圓檢測設備,旨在以非常高的精度檢測和分析各種關鍵缺陷。該系統采用裝有直接驅動和高分辨率非接觸線性編碼器的晶片承載級，用於晶片在該級內的超精確移動和對準。利用機動化的theta級進一步提高了該級的精度，以精確定位晶片。另外，一個具有可變數值孔徑的物鏡允許單位提供高分辨率成像的小間距圖樣。該機器能夠對晶圓的每個象限進行全場檢查，並使用標準的校準滑條或楔子進行自動校準。除了校準外，NANOLINE 50-2還提供全面的測量和對準功能，以確保精確的測量。對於缺陷分析和表征,該工具附帶一個高級方法編輯器軟件,該軟件支持多種類型的成像分析技術,如亮場、暗場、相位成像、APS、CWF和Coloumns。對於缺陷檢測,提供閾值和像素測量,並且該資產具有線模式匹配功能,因為這些模式存儲在數據庫中。此外，還包括一個基於直方圖的多區域儀器，可以檢測低於顯微鏡分辨率的模式偏差。為支持進一步的缺陷檢查，該型號內置了可提供可變照明水平的漫步LED照明設備，使用戶能夠實現更高的對比度。可以檢測到打印缺陷、蝕刻缺陷、顆粒缺陷等多種缺陷類型。系統還配有嵌入式高性能PC和21英寸大觸摸屏顯示屏，方便界面操作。此外,PC還提供與外部數據庫和設備的網絡連接,提供復雜的數據分析和工作流控制。綜上所述，NANOMETRICS NANOLINE 50-2掩模和晶片檢測儀是一種自動化的高性能機器，旨在對晶片上的各種缺陷進行可靠的檢測和分析。該工具非常精確,為校準、缺陷檢測和特性鑒定提供了多種功能。集成的PC和大型觸摸屏顯示屏非常適合用戶輕松操作,漫步式LED照明和可傾斜的目標允許使用多種成像技術對缺陷進行詳細分析。