二手 NANOMETRICS NanoSpec 181 #63433 待售
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ID: 63433
晶圓大小: 3", 4"
優質的: 1986
Film thickness analyzer
Model No.: 7000-0092
Measures (11) film types: silicon dioxide, silicon nitride, negative and positive resists, polysilicon, thin oxides and nitrides, and polyimide on silicon
Range: 480 to 800nm
CS-2 computer
Wafer shuttle stage for 3/4" wafers
OLYMPUS objectives: 5x/10x/40x M Plan
WYSE terminal
Voltage: 110V
1986 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 181是為廣泛的半導體制造應用而設計的掩模和晶圓檢測設備。它利用一個專有的圖像處理系統,結合一系列成像和光學系統,以確保納米分辨率的高精度成像。該單元以1nm (1納米)的精度和精度進行光學測量。NanoSpec 181具有晶片級和獨特的六腳架定位機,提供6軸運動控制和卓越的穩定性。這樣可以實現高度精確的樣本對齊和一致可重復的測量精度。NANOMETRICS NanoSpec 181的成像子系統基於工作距離長的雙鏡頭光學,是3D成像的理想選擇。采用了步進和掃描技術,采用高分辨率線掃描相機,在舞臺移動時捕捉樣本圖像。然後將圖像實時縫合在一起以構建詳細的3D地圖。直線掃描相機提供高的最大幀速率和動態對準。NanoSpec 181還具有宏檢查模式。這使用戶能夠以相同的詳細程度系統地掃描每個晶片的大面積區域,提供對其表面結構的完整了解。有幾種模式操作,包括缺陷檢測、叠加測量和晶須檢測。NANOMETRICS NanoSpec 181使用戶能夠快速、精確地捕獲來自半導體器件不同層的必要數據。生成的圖像和數據可以可視化、存儲並隨後用於過程優化和提高設備產量。該工具易於使用,非常適合演示數據的極高精度、精確度和可重復性。NanoSpec 181結合其精密的成像資產、創新的力學和直觀的用戶界面,是在工業半導體制造中提供準確、可重復結果的理想模型。
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