二手 NANOMETRICS NanoSpec 181 #9266797 待售
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ID: 9266797
Film thickness measurement system
Head assy:
Photo multiplier tube
Wavelength counter
PCB Pre-amp
Realign head optics
Computer assy:
Main power supply with harness
CPU and I/O PCB
Microscope assy:
R&R Microscope stand, 4"
Rework stage
Microscope lamp.
NANOMETRICS NanoSpec 181是一種掩模和晶片檢驗設備,設計用於對半導體掩模和晶片進行高度精確的檢驗。該系統利用高精度和可重復性的彩色叠加測量(COM)技術來檢查特征尺寸小於0.2微米的圖樣。這使得NanoSpec 181非常適合光掩模、光刻、蝕刻和CMP等工藝。NANOMETRICS NanoSpec 181采用高分辨率5.1兆像素相機和彩色叠加測量,允許檢查256個灰色陰影和8個顏色尺寸。這提供了對陣列特征(包括缺陷)的廣泛可見性。該單元具有用於快速檢測缺陷的自動模式識別功能,以及用於細微特征詳細分析的放大到1.3nm的功能。機器還包括全面的特征分析功能,如面積和長度測量、縱梁分析和過程分析。這樣就可以生成各種自定義報告,以跟蹤運行過程的性能。該工具還內置了對分層缺陷檢查和多層審查的支持。NanoSpec 181是一種健壯可靠的資產,易於使用。它利用清晰易行的圖形用戶界面,並包括用於快速診斷和糾正缺陷的直觀缺陷檢查器工具。該模型還包括一個高級調試功能,旨在讓工程師快速建模和分析缺陷趨勢並確定糾正措施。總體而言,NANOMETRICS NanoSpec 181是高分辨率掩模晶片檢測應用的絕佳選擇。它易於使用,並提供多種功能,使其成為檢查功能尺寸小於0.2微米的掩模和晶片的理想選擇。它非常可靠,可以幫助減少與過程相關的缺陷,幫助確保高產品質量和可靠性。
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