二手 NANOMETRICS NANOSPEC 200 #9407282 待售
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NANOMETRICS NANOSPEC 200是一種用於生產測試和研究應用的掩模和晶圓檢測設備。它將高分辨率成像功能與滿足業界最苛刻的檢查任務要求的性能特性相結合。NANOSPEC 200提供掩模對晶片檢查能力、可編程掃描階段、晶片對準專有軟件、先進信號處理技術和高分辨率成像系統。該單元的高圖像保真度和信噪比使得它非常適合需要精確微米級測量的檢查。NANOMETRICS NANOSPEC 200包括一臺先進的成像機和光學器件,配有高分辨率級和掃描軟件。該工具的成像分辨率為5納米,動態範圍為5個數量級,靈敏度為1皮米。該成像設備能夠檢測小至5納米的缺陷和形狀,而信號處理技術使光學參數的先進測量達到1皮米。該模型包括一個可調波長和偏振濾波器,允許用戶為其特定應用選擇最佳參數。可編程掃描階段提供了一系列的行程,以及高水平的準確性和可重復性。這允許從小芯片到大晶圓的各種樣本量和類型。此外,NANOSPEC 200還具有可編程的子分辨率模式,可以更精確地測量較小的物體,即使它們在標準成像模式下不可見。該軟件還包括一個全面的缺陷分析例程庫和一個直觀的界面,確保快速和高效的檢查。此外,NANOMETRICS NANOSPEC 200還包括用於晶圓夾層的內置LiNbO3鋰和用於溫度控制和摻雜劑固化的烘烤、烘烤平臺。該設備還配備了用於多波長檢查的機動炮塔,能夠同時測量多個參數並優化檢查效率。總體而言,NANOSPEC 200提供了強大的功能組合,旨在滿足研究和生產環境的需求。該系統提供高分辨率成像和性能特性,非常適合進行掩碼和晶圓檢查任務。
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