二手 NANOMETRICS NanoSpec 210 #142743 待售

NANOMETRICS NanoSpec 210是一個掩模和晶片檢查系統，設計用於通過各種成像技術和檢查方式對掩模和晶片進行自動化和無損審查。NANOMETRICS NANO SPEC 210為掩模和晶片檢查提供了一個全面、可重復的解決方案,包括粒子檢查和缺陷檢查以及層對層集成的審查。NanoSpec 210的性能基於高質量的光學、動態圖像校正以及靈活的成像模式和模式。所有表面缺陷和顆粒都在暗場中被照亮，並利用真正的抗蝕劑表面共聚焦視圖來降低噪聲和提高分辨率。圖像處理是通過結合動態可調窗口、專用濾鏡以及多重對比度和邊緣增強方法，生成清晰清晰的圖像來實現的。該系統具有多種無損檢測模式,能夠對各種掩模和晶片層的模式和缺陷進行成像和檢查。自動註冊算法可檢測和精確測量顆粒,而後模式缺陷驗證可確保準確自動地檢測到不需要的缺陷,如橋接和劃痕。NANO SPEC 210還具有自動缺陷分類功能。缺陷類型（如短褲、打開、斷開、接觸孔和過渡）將被識別並添加註釋以進行驗證。使用用戶定義的規則，還可以識別錯誤的打開、橋接和缺口缺陷，確保所有缺陷都得到正確的表征和準確的跟蹤、記錄和糾正。NANOMETRICS NanoSpec 210還提供了一系列計量解決方案,如CD-SEM、線寬測量和臨界尺寸變化。定量CD分析進一步支持交叉晶片異常及CD漂移和CD均勻性的識別，提高了布局和工藝產量。NANOMETRICS NANO SPEC 210緊湊直觀的設計,實現了高效的設置和操作。用戶友好的軟件界面提供快速、簡單的導航功能,並輔以一系列教程指南、預先配置的工作流和批處理功能。還提供全面的現場安裝和培訓服務,為客戶提供完整的系統支持和幫助。