二手 NANOMETRICS NanoSpec 210 #9256979 待售

NANOMETRICS NanoSpec 210是一款功能強大的掩模和晶圓檢測設備,旨在幫助半導體設計和光刻專業人員實現其最苛刻的應用的最高精度和可靠性。該系統結合了廣泛的檢查功能,如高級光束分析、共聚焦顯微鏡和叠加計量,以及業界領先的自動化水平,為當今的高級設備提供最高性能的成像。NANOMETRICS NANO SPEC 210的核心是一個高分辨率的5軸級單元,可在其整個工作表面精確控制。這一階段能夠支撐尺寸高達300 mm的晶片，實現高達0.45毫米/秒的X-Y速度。該機還采用了先進的成像引擎，將1664 x 1044矽CMOS圖像傳感器與10倍還原光學器件結合在一起，提供快速、高分辨率的成像。刀具的光束輪廓分析功能是無與倫比的,它具有多種工具來測量和表征光的入射角和擴散。例如，資產具有可變虹膜特征，允許用戶在掃描的同時調整光束的大小以獲得更高的精度，以及極化照明特征，可以減少對比度和降低噪聲。NanoSpec 210還具有最先進的叠加計量功能,使用戶能夠測量與高級平版印刷功能相關的對齊和叠加誤差。該模型具有高達15微米的測量範圍和能夠自動識別偏移和誤差的特征識別算法，使得對齊和叠加計量成為一種微風。最後，檢查設備還提供高分辨率共聚焦顯微鏡，允許測量特征大小、性質和形狀，遠遠超出傳統顯微鏡的分辨率。這種高度精確的成像技術可以用來精確測量亞微米結構和特征，讓用戶檢測到甚至最輕微的偏差。總而言之，NANO SPEC 210是一個強大的掩模和晶圓檢測系統，旨在滿足即使是最苛刻的半導體應用的嚴謹要求。憑借強大的成像和測量能力,此設備非常適合提供最高精度和可靠性。