二手 NANOMETRICS NanoSpec 212 #9217219 待售

NANOMETRICS NanoSpec 212
ID: 9217219
晶圓大小: 6"
Film measurement system, 6".
NANOMETRICS NanoSpec 212是一種先進的掩模和晶圓檢查設備,利用激光和光散射測量技術相結合。該系統設計用於檢測圖樣化的光掩模和晶片,用於圖樣校正、檢查圖樣和細節分辨率測量。作為業界領先的計量工具,NanoSpec 212在非接觸式工具中提供了最高的速度、最佳的可重復性和最精確的成像功能。NANOMETRICS NanoSpec 212由三個主要元素組成。這些是探測室、照明單元和探測器。探針室的設計目的是創造一個極端穩定的環境,在其中進行掃描。機器的高度同步的工作允許均勻和恒定的照明,導致很大的均勻性。采用非球面冷凝器對腔內激光束進行準直,掃描集成確保精確、可重復的測量和成像。照明工具包括激光源和光學器件,旨在產生均勻、可重復的光斑大小和強度。激光配置有特定的波長,具體取決於應用。此資產允許寬線寬或掩碼特征要求分辨率。探測器由矽相機和成像固件組成,旨在檢測來自衍射光柵的光,並在顯示器中創建數字圖像。然後將此圖像傳輸到軟件進行分析。通過此過程,NanoSpec 212能夠分析所有類型的掩模模式和特征,並提供無與倫比的成像和精確測量。NANOMETRICS NanoSpec 212配備了直觀的UI和軟件,可實現快速輕松的模型控制。軟件和數據分析包括一套廣泛的功能,有助於有效監測和處理數據。這樣可以實現高分辨率成像、精確測量、掩模和晶圓檢查等等。總體而言,NanoSpec 212是一種高度先進的掩模和晶圓檢查設備,它利用激光和光散射技術。穩定的探針室、照明系統和探測器,加上人性化的軟件,提供了高度精確的成像、優越的精度測量和準確的數據分析。這使得NANOMETRICS NanoSpec 212成為檢驗行業的完美工具。
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